超高清超高分辨率3D 显微镜精密结构微振动分析研究

  • 摘要: 分析微观样品的结构越来越细小化、复杂化和精密化,并且分析数据的精度与准确性要求越来越高。目前市面上大部分显微镜还是利用微调旋钮等人为操作来调节,这样对测量产品数据的精度有一定影响,并且受外界条件的干扰,比如震动、气流及温度等,都会对精密仪器带来负面作用。本文将通过对重要精密设备载物台的结构研究分析,来完善优化载物台精密结构设计的合理性,并提供相应数据为改进设备结构提供技术支撑。

     

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